氣體泄漏報警器的原理進行了解釋：“一套完整的智能型氣體報警設(shè)備，主要由三大部分構(gòu)成：氣體探測器、聲光報警控制器以及相關(guān)聯(lián)動設(shè)備。”“探測器蕞下端為傳感器，氣體從底部的金屬網(wǎng)絲進入后，這時氣體的物理信號將轉(zhuǎn)化為電信號，檢測分析其濃度狀態(tài)?！比绻瑯?，那么探測器就會把信號傳輸給控制器，控制器那邊就會報警并且驅(qū)動控制相關(guān)的聯(lián)動設(shè)備工作，不同的傳感器，可以檢測不同的氣體，在現(xiàn)實應(yīng)用中，探測器安放于氣體檢測的現(xiàn)場。一個探測器的覆蓋面積大約在30平方左右，具體現(xiàn)場安裝情況的按照產(chǎn)品說明書要求安裝，比如氣體密度比空氣密度大或者比空氣密度小，那么探測器安裝的位置也是不一樣的。
聲光報警器與探測器相連接，一旦探測器監(jiān)控到異常情況，聲光報警器將立即啟動?！八粌H可以放在現(xiàn)場，也可置于值班室，以便緊急情況下中心工作人員調(diào)度、處理?！睔怏w報警系統(tǒng)往往還與相關(guān)聯(lián)動設(shè)備連接，如風機、電磁閥。鄔曉寧解釋說，一旦氣體濃度超標，系統(tǒng)將自動切斷閥門并啟動風機，達到及時排險的目的。
隨著現(xiàn)在現(xiàn)在工業(yè)的飛速發(fā)達，人們的安全意識越來越高，人的生命被無條件的放在第壹位，那么氣體泄漏報警器就必然產(chǎn)生，是社會發(fā)展的產(chǎn)物，所以長春弈揚公司提醒各位在危險場所工作的企業(yè)，安裝氣體泄漏報警器是對工人們的負責，是對人性的考驗，有了這個儀器，才能進行安全的生產(chǎn)，每個員工的生命才能得到保證，企業(yè)才會減少相應(yīng)的損失。
氣體的監(jiān)測和分析是檢查氣體質(zhì)量、確保用氣點或用氣設(shè)備能所用高純氣體的重要手段，也是保證安全生產(chǎn)的重要措施。高純氣體的監(jiān)測與分析，只有采用先進的分析方法和精密的分析儀器，才能獲得準確的分析數(shù)據(jù)，氣體監(jiān)測和分析的重要性，隨著晶片的幾何結(jié)構(gòu)縮小，集成電路集成度的不斷提高，即使有極微量的氣態(tài)雜質(zhì)的沾污和的塵埃污染，也會給生產(chǎn)帶來嚴重的破壞性。
高純氣體管道配管
所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到設(shè)備用點(POU)，為了達到工藝對氣體的質(zhì)量要求，在氣體出口指標一定的情況下，則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。除取決于制氣或凈化設(shè)備的精度外，在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響，因此，管材的選取應(yīng)恪守相關(guān)行業(yè)原則，并在圖紙中注明管道材質(zhì)。
管路的材質(zhì)則依使用的需求進行選擇，若為制程用的反應(yīng)氣體則選擇高等級的316L EP管，經(jīng)電解拋光(Electro-Polish)處理，耐腐蝕，表面粗糙度低，Rmax(maximum peak to valleyheight)約為0.3μm以下，其值遠低于經(jīng)過光輝燒結(jié)(Bright Anneal)處理之316L BA管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微渦流，而將污染粒子帶出。316L BA管則常使用于和芯片接觸但不參與制程反應(yīng)的氣體，如GN2、CDA。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標準。粗糙度越低，其顆粒攜帶可能性大大降低。另一種未經(jīng)特殊處理的AP管(Annealing & Picking)，則用于不做為供氣管路的雙套外管。
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